超純水設(shè)備已被廣泛運(yùn)用于電子、電力、化工、電鍍、鍋爐補(bǔ)給、實(shí)驗(yàn)室及醫(yī)藥等眾多領(lǐng)域。因?yàn)椴煌袠I(yè)不同領(lǐng)域?qū)λ|(zhì)的要求有所不同，所以超純水設(shè)備產(chǎn)出的超純水也是有所差別的。以下是各種超純水的水質(zhì)要求及其制水工藝方法簡(jiǎn)介。

超純水是水中電解質(zhì)幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質(zhì)、微生物、微粒、有機(jī)物、溶解氣體降至很低程度，都是經(jīng)過(guò)膜過(guò)濾或混合床等終端精處理的水。

目前，我國(guó)電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。在水質(zhì)要求達(dá)10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進(jìn)行組合搭配的方法來(lái)制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。

電導(dǎo)率在1us/cm—10us/cm之間的超純水也即電阻值在0.1兆歐到1兆歐之間，這種水大都應(yīng)用在對(duì)水質(zhì)要求不是太嚴(yán)的場(chǎng)所，例如普通的清洗用水，普通配液用水、化學(xué)配置用水等。這種純水可以采用一級(jí)或兩級(jí)反滲透工藝來(lái)制取，傳統(tǒng)的方法是用蒸餾法，但因能耗太大而大都改用反滲透膜法來(lái)制取這樣要求不是太高的純水。

電導(dǎo)率在0.1us/cm—1us/cm(電阻值1-10兆歐）之間的超純水，這種純水應(yīng)用在對(duì)水質(zhì)相對(duì)較嚴(yán)格的場(chǎng)所，例如大多數(shù)電子線(xiàn)路板的清洗用水、普通電鍍用水、電廠用水、普通化學(xué)試劑的配制用水及廣大涂料用水等。這種純水的制備大都采用一級(jí)反滲透再后面加去離子設(shè)備，也有采用前級(jí)加砂、炭過(guò)濾作預(yù)處理，后面再用陰床、陽(yáng)床、再加復(fù)床來(lái)制取的。兩種工藝比較而言，采用反滲透加去離子工藝初投資較大，但設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)便，再生周期要長(zhǎng)得多，而且運(yùn)行穩(wěn)定。

電導(dǎo)率低于0.1us/cm的超純水也即電阻值在10兆歐以上，這種純水應(yīng)用在對(duì)水質(zhì)特別嚴(yán)格的場(chǎng)所，例如大多數(shù)高精度電子線(xiàn)路板的清洗用水，電池行業(yè)配液用水，醫(yī)藥用生理注射用水等。這種純水的制備大都采用一級(jí)反滲透再后面加電去離子（EDI）設(shè)備，也有采用反滲透作一級(jí)處理，后面再用離子設(shè)備來(lái)制取超純水，但后級(jí)必須用拋光離子樹(shù)脂作后級(jí)處理。兩種工藝比較而言，采用反滲透加電去離子工藝初投資較大，但設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)便，節(jié)能環(huán)保，而且運(yùn)行穩(wěn)定。

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