在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。
一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用PVC管或SUS304管。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管(SGPRL),對于水泵等產(chǎn)生震動(dòng)的動(dòng)力設(shè)備周邊采用SUS304管;在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。
超純水系統(tǒng)
高壓泵與反滲透(RO)之間,由于壓力高所以必須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0MPa級的法蘭。由于RO對水溫有一定的要求,因而一般在RO之前有熱交換器,其周邊也應(yīng)該采用SUS304管;在超純水制造階段,主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管;
拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管(焊接連接,并要求雙面成型)和PVDF管,超純水回收管道采用CPVC管。在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管;在純水制造過程中酸堿等加藥管線,應(yīng)采用耐沖擊PVC管;純水系統(tǒng)中使用的氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304管,超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管;壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動(dòng)閥開關(guān)動(dòng)力,一般采用SUS304管或SGP管,當(dāng)采用SGP管時(shí)進(jìn)入電氣盤前需加過濾器。
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