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集成電路超純水設(shè)備操作注意事項(xiàng)

超純水中很重要的是反滲透系統(tǒng),使用反滲透系統(tǒng)時(shí),尤其應(yīng)注意原水預(yù)處理。為了避免堵塞反滲透系統(tǒng),原水應(yīng)經(jīng)預(yù)處理以消除水中的懸浮物,降低水的濁度,此外,還應(yīng)進(jìn)行殺菌以防微生物的孽生長大。

由于反滲透對(duì)原水中的懸浮物的要求很高,所以常用一種水質(zhì)對(duì)受懸浮物污染情況的污染指數(shù)來對(duì)水質(zhì)進(jìn)行檢測。此法實(shí)質(zhì)上是測定反滲透系統(tǒng)受水中懸浮物的污堵的情況。進(jìn)入反滲透系統(tǒng)水的污染指數(shù)以不大于5為宜,建議值一般小于3。預(yù)處理時(shí)還應(yīng)該考慮到進(jìn)水的pH值。各種半透膜都有其最適宜的運(yùn)行pH值,故需按反滲透膜的要求,調(diào)節(jié)進(jìn)水的pH值。預(yù)處理時(shí)還應(yīng)該考慮到進(jìn)水的溫度。膜的透水量是隨水溫的增高而增大的,但溫度過高會(huì)加快醋酸纖維素膜的水解速度,且使有機(jī)膜變軟,易于壓實(shí)。所以,對(duì)于有機(jī)膜來說,通常將溫度控制在約20—40℃范圍內(nèi)為宜,復(fù)合膜溫度控制在約5—45℃范圍內(nèi)為宜。

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