半導(dǎo)體清洗用超純水處理工藝流程
任何設(shè)備中的整體工藝流程非常嚴(yán)謹(jǐn),需要不同程序相互配合。半導(dǎo)體清洗用超純水的水質(zhì)也要有嚴(yán)格要求,原水經(jīng)過南方泵的加壓進(jìn)入四級預(yù)處理裝置,預(yù)處理能去除水中的鐵銹、大顆料物質(zhì)。最后經(jīng)過雙極反滲透裝置可以進(jìn)一步去除水中的雜質(zhì),最后經(jīng)過半導(dǎo)體清洗用超純水處理工藝最后一道工序微孔過濾器來對水進(jìn)行深度處理使水達(dá)到用水要求。
半導(dǎo)體清洗用超純水標(biāo)準(zhǔn)
關(guān)于超純水設(shè)備的出水水質(zhì)有很多標(biāo)準(zhǔn),對于不同企業(yè)生產(chǎn)過程中所用到的純水水質(zhì)也有所不同。半導(dǎo)體行業(yè)要遵循我國電子工業(yè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),并且還要達(dá)到一些國外的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)等。而且還能達(dá)到美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)和德國、日本等標(biāo)準(zhǔn),并且水質(zhì)穩(wěn)定不會造成二次污染。
名稱欄目:半導(dǎo)體清洗用超純水處理工藝流程及用水標(biāo)準(zhǔn)介紹
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